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    超純水系統供氮及泄氮裝置應用案例
    點(diǎn)擊次數:932      更新時(shí)間:2023-11-24

    超純水系統供氮及泄氮裝置應用案例

    氮封裝置由 供氮裝置 和 泄氮裝置 兩部分組成。供氮裝置由指揮器和主閥兩部分組 成;泄氮裝置由內反饋的壓開(kāi)型微壓調節閥組成。氮氣壓力一般設為100mmH2O.通過(guò)氮封裝置精確控制 。
    空氣中含有二氧化碳、細菌、塵埃等雜質(zhì),而超純水為純的溶劑,對這些雜質(zhì)的溶解能力很強,一旦超純水與空氣接觸,就會(huì )使其電阻率迅速下降,實(shí)踐證明15MΩ.cm以上的超純水暴露在空氣中1分鐘后水質(zhì)就會(huì )下降至3-4MΩ.cm,3分鐘以后就會(huì )下降到2MΩ.cm左右,因此超純水的儲存容器需確保水體與空氣的接觸。
    超純水系統中為何需用氮封水箱?空氣中含有二氧化碳、塵埃等雜質(zhì),而超純水為純的溶劑,對這些雜質(zhì)的溶解能力很強,故一旦超純水與空氣接觸,就會(huì )使其電阻率迅速下降,實(shí)踐證明15MΩ.cm以上的超純水暴露在空氣中1分鐘后水質(zhì)就會(huì )下降至3-4MΩ.cm,3分鐘以后就會(huì )下降到2MΩ.cm左右,因此超純水的儲存容器需確保水體與空氣的接觸。

    ZZYVP型帶指揮器調壓閥070.jpg

    超純水系統供氮及泄氮裝置應用案例處理超純水與空氣接觸的方法:
    充氮法:即在水箱水面上充入氮氣使箱內維持適當的正壓力,阻止大氣與箱內水面接觸。
    薄膜袋法:即在在水箱內設置袋狀薄膜覆蓋于水面上,薄膜袋隨水位升降,減少水面與空氣接觸面積。   
    浮頂法:即以密度比水輕的輕質(zhì)材料在水箱內制成整塊板狀浮頂浮于水面,并用輕質(zhì)彈性材料(如海綿、發(fā)泡塑料等)遮蓋浮頂與箱間的間隙,浮頂隨水面升降。從而減少空氣與水面的接觸機會(huì )。
    在上述三種方法中又以氮封水箱常見(jiàn),實(shí)施簡(jiǎn)單,效果好。
    氮封水箱的工作原理:
    超純水氮封水箱是將一定量的氮氣充入密封的水箱內,水箱內氮氣壓力不大于80Kpa,氮氣是惰性氣體能防止CO2等其它物質(zhì)溶入水中影響水質(zhì),保證水箱內的水不受二次污染而導致水質(zhì)下降。純水設備氮封裝置由快速泄放閥及微壓調節閥兩大部分組成,而快速泄放閥由壓力控制器及單座切斷閥組成,當儲罐內壓力升高至設定壓力時(shí),快速泄放閥迅速開(kāi)啟,將罐內多余壓力泄放。微壓調節閥是在儲罐內壓力降低時(shí),開(kāi)啟閥門(mén),向罐內充注氮氣。因微壓調節閥必須使用在壓力為0.1Mpa壓力以下,現場(chǎng)N2壓力較高,必須安裝壓力調節閥將壓力降低至0.1Mpa以下才可使用。壓力可按要求分段設定,從0.5Kpa至60 Kpa以下。
    一般供氮氣壓力在3×10^5-10×10^5Pa之間,罐頂呼吸閥僅起安全作用,是在主閥失靈,導致罐內壓力過(guò)高或過(guò)低時(shí),起到安全作用,在正常情況下不工作,泄氮閥安裝在罐頂,口徑一般與進(jìn)液閥口徑一致,一般泄氮閥的壓力設定點(diǎn)略大于供氮閥的壓力設定點(diǎn),以免供、泄氮裝置頻繁工作,浪費氮氣、影響設備的使用壽命

    氮封閥0019.jpg

    1、超純水系統供氮及泄氮裝置應用案例供氮及泄氮裝置:
    在超純水系統中,超純水水箱泄氮部分也可以采用水封的方式進(jìn)行,即從水箱上部氣體空間引出單獨的管道,末端浸入水槽液面中,液面高度根據水箱上部氣體空間允許的最大正壓確定,也可以實(shí)現泄氮功能且比較經(jīng)濟。氮封閥的工作原理主要是通過(guò)閥門(mén)內部的氮氣壓力來(lái)實(shí)現閥門(mén)的控制和封閉。當氮氣進(jìn)入閥門(mén)內部時(shí),通過(guò)調節閥門(mén)的開(kāi)度來(lái)控制氮氣的流量。當需要關(guān)閉閥門(mén)時(shí),通過(guò)增加氮氣的壓力來(lái)使閥門(mén)關(guān)閉,從而實(shí)現對氣體的封閉。

     ZZY-II型帶指揮器自力式壓力調節閥(簡(jiǎn)稱(chēng)氮封閥)無(wú)需外加能源,利用被調介質(zhì)本身壓力變化而實(shí)現自動(dòng)調節,使閥后壓力恒定,整機具有動(dòng)作靈敏、控制壓力波動(dòng)小,節約能源。指揮器操作型自力式壓力調節閥采用動(dòng)力源與信號點(diǎn)分開(kāi)檢測的方法,外加可調節流裝置,使整臺閥門(mén)的調節精度大大提高,減壓比最大可達2000:1。廣泛應用于各種氣體減壓穩壓的自動(dòng)控制場(chǎng)合,特別適合作為氮封的供氮閥使用,具有持續供氮壓力波動(dòng)小、反應靈敏等特點(diǎn)。具體來(lái)說(shuō),氮封閥的工作原理可以分為以下幾個(gè)步驟:

    氮封閥018.jpg

    1. 氮氣進(jìn)入閥門(mén):當氮氣進(jìn)入閥門(mén)時(shí),通過(guò)閥門(mén)的進(jìn)氣口進(jìn)入閥門(mén)內部。
    2. 控制氮氣流量:通過(guò)調節閥門(mén)的開(kāi)度,可以控制氮氣的流量大小。當閥門(mén)開(kāi)度較大時(shí),氮氣流量較大;當閥門(mén)開(kāi)度較小時(shí),氮氣流量較小。
    3. 關(guān)閉閥門(mén):當需要關(guān)閉閥門(mén)時(shí),通過(guò)增加氮氣的壓力來(lái)使閥門(mén)關(guān)閉。通過(guò)增加氮氣的壓力,可以使閥門(mén)內部的密封件緊密貼合,從而實(shí)現對氣體的封閉。
    微壓調節閥壓力調節范圍內選定一設定值 如:3Kpa
    泄氮設定值的設定應遠離供氮壓力值,如:8Kpa。
    具體壓力的設定值要根據純水系統的產(chǎn)水量和水箱容量大小來(lái)確定選擇。
    N2的純度為99.995%以上。
    凈化一般處理超純水與空氣接觸的方法:

    儲罐氮封閥 閥體部分

    結構大類(lèi):自力式

    閥芯型式:?jiǎn)巫胶馐?/p>

    結構分類(lèi):帶指揮器型

    氮封閥002.jpg

    超純水系統供氮及泄氮裝置應用案例

    序號

     

    型 號 及 規 格

    單位

    數量

    單 價(jià)

    (元)

    金 額

    (元)

    閥體材質(zhì)及其它

    1

    氮封閥

    氮封閥ZZYVP-II DN32 PN16

    進(jìn)口壓力 0.1-0.3 MPA,

    出口壓力0.5 KPA

    法蘭連接

    3



    SUS304不銹鋼

    詳細要求見(jiàn)附件

    2

    泄氮閥

    泄氮閥ZXD-16   DN32    PN16

    起跳壓力1.5 KPA

    法蘭連接

    3



    SUS304不銹鋼

    詳細要求見(jiàn)附件

    超純水系統供氮及泄氮裝置應用案例儲罐氮封閥 規格與技術(shù)參數

    公稱(chēng)通徑DN(mm)20253240506580100125150200
    額定流量Kv大容量71120304875120190300480760
    標準型571120304875120190300480
    高精度2.8571120304875120190300
    額定行程L(mm)8101420254050
    公稱(chēng)壓力PN(MPa)1.6 4.0
    固有流量特性快開(kāi)
    固有可調比R30
    設定點(diǎn)壓力調節范圍0.5~2、1~3、3~10、5~15、10~30、20~60、40~120、80~200、150~300   200~400、300~600、500~800、600~1000
    調節精度(%)±5~8
    放大器最高工作溫度(℃)橡膠膜片(丁晴):-20~80 橡膠膜片(氟膠):-20~200
    泄漏等級Ⅳ級(10-4×閥額定容量)、Ⅵ級(微氣泡級)


    注:表中數據為本公司標準配置,可按用戶(hù)要求另行選配

    ZZYVP型帶指揮器調壓閥27.jpg

    超純水系統供氮及泄氮裝置應用案例儲罐氮封閥 連接尺寸及標準

    連接方式:法蘭 (標準型) 螺紋、焊接 (須用戶(hù))

    法蘭標準:PN16鋼制法蘭按GB/T9113.1 PN40鋼制法蘭按GB/T9113.2

    密封面型式:PN16為突面(RF); PN40為凹凸面,閥體為凹面;

    法蘭端面距:GB12221-89

    薄膜執行機構氣信號接口:內螺紋M16×1.5、M10X1、RC1/4


    * 連接方式、閥體法蘭及法蘭端面距可按用戶(hù)的標準制造,如:ANSI、DIN、JIS等標準。

    公稱(chēng)通徑DN(mm)20253240506580100125150200
    L150160180200230290310350400480600
    H6906907057057608008008408809801050
    Aφ178、φ198、φ232、φ280、φ308、φ394、φ498
    L12332333323323735725526739809001200
    P≥135170220220235245325425550660900
    重量(kg)18182527426580108182260305
    導壓管螺紋接頭M16×1.5、M10X1、RC1/4

    注:1、指揮器與主閥可分開(kāi)安裝

    ZZYVP型帶指揮器調壓閥51.jpg

    超純水系統供氮及泄氮裝置應用案例安裝及日常維護:

    1、安裝:
    (1)安裝前,檢查整機零件是否缺損或者松動(dòng),對管道應進(jìn)行清洗,介質(zhì)流向應與閥體箭頭指向一致。
    (2) 為便于現場(chǎng)維修與操作,閥四周應留有適當的空間。
    (3)閥門(mén)應正立垂直安裝在水平管道上,閥體與管道的法蘭連接,要注意軸度,并應安裝在環(huán)境溫度不超過(guò)-25~55°C的場(chǎng)合使用。

    ZZYVP型帶指揮器調壓閥49.jpg

    2、超純水系統供氮及泄氮裝置應用案例使用
    (1)開(kāi)啟閥前截止閥,使介質(zhì)緩慢流入閥體
    (2)擰開(kāi)指揮器護罩,松開(kāi)指揮器調節螺釘
    (3)調節指揮器主彈簧,使閥后壓力定值
    (4)固定指揮器調節螺釘,裝好護罩,調壓閥即可開(kāi)始工作
    (5)不用時(shí),關(guān)閉閥前截止閥
    3、超純水系統供氮及泄氮裝置應用案例維護
    (1)拆卸閥門(mén)時(shí),要保護好精密零件的表面,拆裝閥座時(shí),要使用專(zhuān)用工具
    (2)閥芯與閥座,不管修理或者更換,密封面都必須進(jìn)行研磨
    (3)彈簧若有裂縫跡象,必須更換
    (4)密封墊片與0型圈每次檢修時(shí)全部更換,膜片根據檢查結果而定。
    (5)閥門(mén)平時(shí)維護,只有觀(guān)察閥后導壓器上的壓力表是否符合設計值要求即可。另外若發(fā)現各連接處有滲漏,可擰緊螺母與螺釘或更換密封墊片與0型圈生產(chǎn)ZZYVP-16B帶指揮器自力式氮封閥(儲灌氮封)蒸汽減壓穩壓閥等自力式閥。

    ZZYVP型帶指揮器調壓閥049.jpg

    超純水系統供氮及泄氮裝置應用案例上例以貯罐1KPa為例

    1、ZZDG-16B供氮閥的取壓位置應離貯罐(或緩沖罐)較近。
    2、壓力表應置于取壓點(diǎn)不遠處,以免引起不必要的爭議。
    3、ZZDG-16B供氮閥閥后管道不宜太小。
    ZZYVP-16B帶指揮器自力式氮封閥(儲灌氮封)連接尺寸及標準
    法蘭標準:GB9113-2000;
    法蘭密封面型式:凸面;
    信號接口:內螺紋M16×1.5;
    閥體法蘭及法蘭端面距離可以按用戶(hù)的標準制造。如ANSI、JIS、JPI等標準

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