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    電子工業(yè)用超純水快裝氮封閥應用案例
    點(diǎn)擊次數:770      更新時(shí)間:2023-09-17

    電子工業(yè)用超純水快裝氮封閥應用案例

    半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、化工行業(yè)、高精度線(xiàn)路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規模、超大規模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,對水質(zhì)的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)標準,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區分不同水質(zhì)。用兩級反滲透制取電子工業(yè)超純水處理設備 采用兩級反滲透主機加EDI  制取電子工業(yè)超純水處理設備該類(lèi)安全設備需根據被保護設備、系統的具體工況參數進(jìn)行計算選型以更好地發(fā)揮保護作用,選定型號后方可進(jìn)行報價(jià),為保證使用,請盡早通過(guò)在線(xiàn)咨詢(xún)、熱線(xiàn)電話(huà)、在線(xiàn)留言、郵件等方式和我們聯(lián)系,工作人員會(huì )安排相應區域的銷(xiāo)售工程師免費為您提供計算選型、報價(jià)及其他技術(shù)支持服務(wù),幫您快速選擇合適的產(chǎn)品并盡快為您安排發(fā)貨或生產(chǎn)排期。

    電子工業(yè)用超純水快裝氮封閥應用案例工作原理
    氮封閥用來(lái)調節儲罐頂部惰氣體層的壓力。氮封閥感應儲罐內的壓力并在壓力降到低于設定壓力時(shí)打開(kāi),以使惰性氣體流入。在壓力回升至設定壓力時(shí),閥門(mén)關(guān)閉并停止,阻止惰性氣體繼續流入。氮封閥必須有三個(gè)外部接口,一個(gè)接口連接閥門(mén)和儲罐,測量?jì)迚毫?,第二個(gè)接口連接惰性氣體和閥門(mén),惰性氣體供應囗。第三個(gè)接囗連接閥門(mén)的出囗和儲罐,為儲罐提供惰性氣體。
    電子工業(yè)用超純水快裝氮封閥應用案例注意事項
    1、氮封閥裝置必須可靠,惰性氣體有足量的供應。如果閥門(mén)損壞,供應不足,將會(huì )導致儲罐內的氧氣濃度偏高,而氧氣將會(huì )和蒸發(fā)介質(zhì)混合產(chǎn)生可燃物質(zhì)
    2、應該以有效輸送的方式將惰性氣體引入到罐槽中。
    3、必須防止任何來(lái)源的惰性氣體污染。任何惰性系統應該帶有適當的除濕設備,以將濕度維持在絕對極小值之內。制備電子工業(yè)用超純水的工藝流程

    主要用于保持容量頂部保護氣(一般為氮氣)的壓力恒定,以避免容量?jì)任锪吓c空氣直接按觸,防止物料揮發(fā)、被氧化,以及容器的安全。特別適用于各類(lèi)大型儲罐的氣封保護系統。該產(chǎn)品具有節能、動(dòng)作靈敏、運行可靠、操作與維修方便等特點(diǎn)。氮封閥被廣泛應用于石油、化工等行業(yè)。超純水設備通常由多介質(zhì)過(guò)濾器,活性碳過(guò)濾器,鈉離子軟化器、精密過(guò)濾器等構成前期預處理系統、RO反滲透主機系統、離子交換混床(EDI電除鹽系統)系統等構成主要設備系統。水箱均設有液位控制系統、水泵均設有壓力保護裝置、在線(xiàn)水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無(wú)人職守,同時(shí)在工藝選材上采用推薦和客戶(hù)要求相統一的方法,使設備與其它同類(lèi)產(chǎn)品相比較,具有更高的性?xún)r(jià)比和設備可靠性。采用碳鋼多級離子交換還未裝入樹(shù)脂的去離子設備制取電子工業(yè)超純水處理
    電子工業(yè)用超純水的應用領(lǐng)域
    1、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路;
    2、超純材料和超純化學(xué)試劑;
    3、實(shí)驗室和中試車(chē)間;
    4、汽車(chē)、家電表面拋光處理;
    5、光電產(chǎn)品;

    ZZYVP型帶指揮器調壓閥52.jpg

    二、電子工業(yè)用超純水快裝氮封閥應用案例產(chǎn)品特點(diǎn):

    1、無(wú)需外加能源,能在無(wú)電、無(wú)氣的場(chǎng)合工作,既方便,又節約能源,降低成本;
    2、氮封裝置供氮、泄氮壓力設定方便,可在連續生產(chǎn)的條件下進(jìn)行;
    3、壓力檢測膜片有效面積大,設定彈簧剛度小,動(dòng)作靈敏,裝置工作平穩;
    4、采用無(wú)填料設計,閥桿所受磨擦力小,反應迅速,控制精度高;
    5、供氮裝置采用指揮器操作,減壓比可達100:1,減壓效果好,控制精度高;
    6、為確保儲罐的安全,需在罐頂設置呼吸閥;
    7、呼吸閥僅起安全作用,避免了常規氮封裝置中啟閉頻繁易損壞的缺陷。

    三、電子工業(yè)用超純水快裝氮封閥應用案例結構與工作原理:

        氮封裝置是由供氮裝置和泄氮裝置兩部分組成。供氮裝置由指揮器和主閥兩部分組成;泄氮裝置由反饋的壓開(kāi)型微壓調節閥組成。氮氣壓力一般設為100mmH2O,通過(guò)氮封裝置精確控制。

        當儲罐進(jìn)液閥開(kāi)啟,向罐內添加物料時(shí),液面上升,氣相部分容積減小,壓力升高,當罐內壓力升至高于泄氮裝置壓力設定值時(shí),泄氮裝置打開(kāi),向外界釋放氮氣。使罐內壓力下降,降至泄氮壓力設定點(diǎn)時(shí),泄氮裝置自動(dòng)關(guān)閉。

        當儲罐出液閥開(kāi)啟,用戶(hù)放料時(shí),氣相部分容積增大,罐內壓力降低,供氮裝置開(kāi)啟,向儲罐注入氮氣,使罐內壓力上升,當罐內壓力上升至供氮裝置自動(dòng)關(guān)閉。

    序號

     

    型 號 及 規 格

    單位

    數量

    單 價(jià)

    (元)

    金 額

    (元)

    閥體材質(zhì)及其它

    1

    氮封閥

    氮封閥ZZYVP-II DN25 PN16

    進(jìn)口壓力 0.1-0.5 MPA,

    出口壓力1 KPA

    快卡接口連接

    1



    SUS304不銹鋼

    詳細要求見(jiàn)附件

    2

    泄氮閥

    泄氮閥ZXD-16   DN25    PN16

    起跳壓力1.5 KPA

    快卡接口連接

    1



    SUS304不銹鋼

    詳細要求見(jiàn)附件

    3

    呼吸閥

    阻火呼吸閥HXF-IV DN25 PN10

    正壓:2KPA

    負壓:-800PA

    快卡接口連接連接

    1



    SUS304不銹鋼

    詳細要求見(jiàn)附件

    四、電子工業(yè)用超純水快裝氮封閥應用案例技術(shù)參數及性能指標: 

    公稱(chēng)通徑DN(mm)253240506580100
    閥座直徑dn(mm)567810121520253240506580100
    額定流量系數Kv0.20.320.50.81.82.84.46.91120304875120190
    額定行程L(mm)810142025
    流量特性快開(kāi)
    壓力調節范圍(kPa)0.4~5.5、5~10、9~14、13~19、18~24、22~28
    27~33、31~38、36~44、42~51、49~58、56~66
    公稱(chēng)壓力PN(MPa)1.6  2.5  4.0
    被調介質(zhì)溫度(℃)≤80
    調節精度(%)±5%
    允許泄漏等級標準級:Ⅳ級(GB/T4213-92)  嚴密型:Ⅵ級(GB/T4213-92)


    電子工業(yè)用超純水快裝氮封閥應用案例電子行業(yè)制備超水的工藝大致分成以下幾種:

    氮封閥002.png

    1、采用離子交換樹(shù)脂制備超純水的傳統水處理方式,其基本工藝流程為:原水→沙炭過(guò)濾器→精密過(guò)濾器→原水箱→陽(yáng)床→陰床→混床(復床)→純水箱→純水泵→后置精密過(guò)濾器→用水點(diǎn)
    2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進(jìn)行組合的方式,其基本工藝流程為:原水→沙炭過(guò)濾器→精密過(guò)濾器→原水箱→反滲透設備→混床(復床)→純水箱→純水泵→后置精密過(guò)濾器→用水點(diǎn)
    3、采用反滲透水處理設備與電去離子(EDI)設備進(jìn)行搭配的的方式,這是一種制取超純水的最新工藝,也是一種環(huán)保,經(jīng)濟,發(fā)展潛力巨大的超純水制備工藝,其基本工藝流程為:原水→沙炭過(guò)濾器→精密過(guò)濾器→原水箱→反滲透設備→電去離子(EDI)→純水箱→純水泵→后置精密過(guò)濾器→用水點(diǎn)離子多級離子交換樹(shù)脂 采用反滲透加EDI電去離子 制取電子工業(yè)超純水處理 制取電子工業(yè)超純水處理
    電子工業(yè)用超純水快裝氮封閥應用案例三種制備電子工業(yè)用超純水的工藝比較
    目前制備電子工業(yè)用超純水的工藝基本上是以上三種,其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎上進(jìn)行不同組合搭配衍生而來(lái)?,F將他們的優(yōu)缺點(diǎn)分別列于下面:
    1、第一種采用離子交換樹(shù)脂其優(yōu)點(diǎn)在于初投資少,占用的地方少,但缺點(diǎn)就是需要經(jīng)常進(jìn)行離子再生,耗費大量酸堿,而且對環(huán)境有一定的破壞。
    2、第二種采用反滲透作為預處理再配上離子交換設備,其特點(diǎn)為初投次比采用離子交換樹(shù)脂方式要高,但離子設備再生周期相對要長(cháng),耗費的酸堿比單純采用離子樹(shù)脂的方式要少很多。但對環(huán)境還是有一定的破壞性。
    3、第三種采用反滲透作預處理再配上電去離子(EDI)裝置,這是目前制取超純水用來(lái)制取超純水的工藝,不需要用酸堿進(jìn)行再生便可連續制取超純水,對環(huán)境沒(méi)什么破壞性。其缺點(diǎn)在于初投資相對以上兩種方式過(guò)于昂貴。

    氮封閥02.png

    我們公司生產(chǎn)的電子超純水設備特點(diǎn)
    設備通常由多介質(zhì)過(guò)濾器,活性碳過(guò)濾器,鈉離子軟化器、精密過(guò)濾器等構成前期預處理系統、RO反滲透主機系統、離子交換混床(EDI電除鹽系統)系統等構成主要設備系統。水箱均設有液位控制系統、水泵均設有壓力保護裝置、在線(xiàn)水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無(wú)人職守,同時(shí)在工藝選材上采用推薦和客戶(hù)要求相統一的方法,使設備與其它同類(lèi)產(chǎn)品相比較,具有更高的性?xún)r(jià)比和設備可靠性。

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